EDX-7000/8000能量色散X射線分析可以通過延長測定時間增加X射線熒光的計數(shù)從而提高精度(重現(xiàn)性)。搭載高計數(shù)率SDD檢測器的EDX-7000/8000與以往型號相比,能夠在更短的時間內保證分析精度。
能量色散X射線光譜(EDX)通常借助電子顯微鏡使用對樣品實施微區(qū)成分分析,依據(jù)元素特征X射線的波長和強度,來檢測樣品中不同元素的相對含量和分布情況。EDX的探測效率高,操作簡單,而且對樣品表面沒有特殊要求。
但EDX的分辨率較低,并且只能分析原子序數(shù)大于11的元素,同時常用的Si探頭要保持在低溫狀態(tài)下工作,操作上有所不便。EELS相比EDX對輕元素有更好的分辨效果,能量分辨率高出1~2個量級,空間分辨能力由于伴隨著透射電鏡技術,也可以達到10^-10m的量級,同時可以用于測試薄膜厚度,有一定時間分辨力。
對于晶體材料,當待測晶體與入射束呈不同角度時,那些滿足布拉格衍射的晶面就會被檢測出來,體現(xiàn)在XRD圖譜上就是具有不同的衍射強度的衍射峰。對于非晶體材料,由于其結構不存在晶體結構中原子排列的長程有序,只是在幾個原子范圍內存在著短程有序。故非晶體材料的XRD圖譜為一些漫散射饅頭峰。